分子式：F3N
在熔融氟铵酸存在下，采用氨直接氟化工艺，其反应式为：反应产物经过除雾器、淋洗器、分子筛吸附器，以及真空蒸馏，可分别除去各种杂质，最后用低温法收集得到NF3。
NF3是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅的蚀刻，采用NF3和CF4＋O2的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染。氢与NF3反应，在瞬间伴随放出大量的热，这就是NF3在高能化学激光器方面大量应用的原理。在高温下，NF3与有机化合物反应常伴有爆炸性，操作时应十分谨慎。用作高能燃料。
第一部分：化学品名称 |
化学品中文名称： | 三氟化氮 |
化学品英文名称： | nitrogen trifluoride |
中文名称 2 ： | |
英文名称 2 ： | nitrogen fluoride |
技术说明书编码： | 67 |
CAS No. ： | 7783-54-2 |
分子式： | NF3 |
分子量： | 70.01 |
第二部分：成分 / 组成信息 |
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第三部分：危险性概述 |
危险性类别： | |
侵入途径： | |
健康危害： | 尚未见职业性中毒报道。 |
环境危害： | |
燃爆危险： | 本品助燃，有毒。 |
第四部分：急救措施 |
皮肤接触： | |
眼睛接触： | |
吸入： | 迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。 |
食入： |
第五部分：消防措施 |
危险特性： | 强氧化剂。受热或与火焰、电火化、有机物等接触能燃烧，甚至爆炸。与易燃物（如苯）和可燃物（如糖、纤维素等）接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。与还原剂能发生强烈反应，引起燃烧爆炸。 |
有害燃烧产物： | 氟化氢。 |
灭火方法： | 消防人员必须穿全身防火防毒服，在上风向灭火。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。灭火剂：雾状水、泡沫。 |
第六部分：泄漏应急处理 |
应急处理： | 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防毒服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。 |
第七部分：操作处置与储存 |
操作注意事项： | 严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具（半面罩），戴化学安全防护眼镜，穿防毒物渗透工作服，戴橡胶手套。远离火种、热源，工作场所严禁吸烟。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与还原剂接触。搬运时戴好钢瓶安全帽和防震橡皮圈，防止钢瓶碰撞、损坏。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。 |
储存注意事项： | 储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过 30 ℃。应与易（可）燃物、还原剂、食用化学品分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。 |
第八部分：接触控制 / 个体防护 |
职业接触限值 | |
中国 MAC(mg/m3) ： | 1 |
前苏联 MAC(mg/m3) ： | 未制定标准 |
TLVTN ： | ACGIH 10ppm,29mg[F]/m3 |
TLVWN ： | 未制定标准 |
监测方法： | |
工程控制： | 严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。 |
呼吸系统防护： | 空气中浓度较高时，应该佩戴自吸过滤式防毒面具（半面罩）。 |
眼睛防护： | 戴化学安全防护眼镜。 |
身体防护： | 穿防毒物渗透工作服。 |
手防护： | 戴橡胶手套。 |
其他防护： | 工作现场严禁吸烟。保持良好的卫生习惯。 |
第九部分：理化特性 |
主要成分： | 纯品 |
外观与性状： | 无色、带霉味的气体。 |
pH ： | |
熔点 ( ℃ ) ： | -208.5 |
沸点 ( ℃ ) ： | -129 |
相对密度 ( 水 =1) ： | 1.89( 沸点 , 液体 ) |
相对蒸气密度 ( 空气 =1) ： | 无资料 |
饱和蒸气压 (kPa) ： | 无资料 |
燃烧热 (kJ/mol) ： | 无意义 |
临界温度 ( ℃ ) ： | 无资料 |
临界压力 (MPa) ： | 无资料 |
辛醇 / 水分配系数的对数值： | 无资料 |
闪点 ( ℃ ) ： | 无意义 |
引燃温度 ( ℃ ) ： | 无意义 |
爆炸上限 %(V/V) ： | 无意义 |
爆炸下限 %(V/V) ： | 无意义 |
溶解性： | 不溶于水。 |
主要用途： | 用作高能燃料。 |
其它理化性质： |
第十部分：稳定性和反应活性 |
稳定性： | |
禁配物： | 还原剂、易燃或可燃物。 |
避免接触的条件： | |
聚合危害： | |
分解产物： |
第十一部分：毒理学资料 |
急性毒性： | LD50 ：无资料 LC50 ： 19000mg/m3 ， 1 小时 ( 大鼠吸入 ) ； 5600mg/m3 ， 4 小时 ( 小鼠吸入 ) |
亚急性和慢性毒性： | |
刺激性： | 对皮肤、粘膜有刺激作用。 |
致敏性： | |
致突变性： | |
致畸性： | |
致癌性： |
第十二部分：生态学资料 |
生态毒理毒性： | |
生物降解性： | |
非生物降解性： | |
生物富集或生物积累性： | |
其它有害作用： | 无资料。 |
第十三部分：废弃处置 |
废弃物性质： | |
废弃处置方法： | 根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。 |
废弃注意事项： |
第十四部分：运输信息 |
危险货物编号： | 23016 |
UN 编号： | 2451 |
包装标志： | |
包装类别： | Z01 |
包装方法： | 无资料。 |
运输注意事项： | 铁路运输时须报铁路局进行试运，试运期为两年。试运结束后，写出试运报告，报铁道部正式公布运输条件。采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。严禁与易燃物或可燃物、还原剂、食用化学品等混装混运。夏季应早晚运输，防止日光曝晒。公路运输时要按规定路线行驶，禁止在居民区和人口稠密区停留。铁路运输时要禁止溜放。 |
第十五部分：法规信息 |
法规信息 | 化学危险物品安全管理条例 (1987 年 2 月 17 日国务院发布 ) ，化学危险物品安全管理条例实施细则 ( 化劳发 [1992] 677 号 ) ，工作场所安全使用化学品规定 ([1996] 劳部发 423 号 ) 等法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92) 将该物质划为第 2.3 类有毒气体。 |
第十六部分：其他信息 |
参考文献： | |
填表时间： | |
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修改说明： | |
其他信息： | |
MSDS 修改日期： |